東河ダイヤモンドワイヤー環切機は高付加価値で消耗の激しい半導体環状部品の切断に特化しており、エッチング装置の消耗部品であるシリコンフォーカスリング、ならびに高級ヒーターユニット・チャンバー部品である炭化ケイ素リング・セラミックリングの製造に最適なソリューションです。
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技術仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ワイヤー長さ | 约5518 mm |
| ワイヤー径範囲 | φ0.35~φ1.0 mm |
| 回転送り速度 | 0.01~2 mm/s |
| 最高ワイヤー速度 | 60 m/sec Max. |
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